钎焊炉设备真空系统主要由真空室、泵系统和各控制阀及热交换器组成。其中泵系统由机械泵、维持泵、罗茨泵、扩散泵构成。阀门包括前级阀（碟阀）、旁路阀（碟阀）、维持泵阀（碟阀）和高阀（板阀）组成，各阀门均为气动阀，由PLC控制气动阀进行控制